主动隔振平台由减振平台和控制器两部分组成。减振平台采用精密金属弹簧实现被动隔振,由精密直线电机实现主动减振,用于反馈控制检测的速度传感器采用超精密震动探头,所有零部件封闭在机体内,系统运行时不需提供额外压缩空气,能自适应调节地基前馈,实现自由度减振。低频振动能量大,波长长,距离大,电镜对低频振动敏感,电镜内部有气缸(被动),自行可以消除中高频振动。高频振动可以换位置解决,低频振动难以通过被动去解决,用于将超精密仪器与低频振动隔离,人体工程学设计使用户可以舒适地执行要求应用。另外,桌子支架底部安装脚轮和调平脚,使用户可以将桌子放在所需的位置。
主动隔振平台可以从0.7Hz开始隔离振动,适合用于得到更大低频隔振性能,对于在1-10Hz范围内的隔振效果很是明显,而精密仪器设备对于1-10Hz的振动是很敏感的,便携、紧凑型的设计,可以非常轻松地安装在工作台或者桌面上,对于输入参数的只有一个要求就是要通过标准的交流电接口供电。
主动隔振平台能够克服一般光学平台以及气浮平台低频共振,配合隔音箱能够隔绝空气的扰动,能够给精密测量提供振动隔离,适用于时间频率测量、原子力显微镜、扫描隧道显微镜,被设计用来使超精密仪器设备可以隔离来自于建筑地面的振动,可隔离的频率低于1Hz,该系统可理想应用于光学显微镜、扫描探针显微镜及计量仪器,可以轻松选择并设置三个增益中的一个以获得适合当前环境的良好性能。