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TMC主动隔振平台STACIS III
STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。
STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中最敏感仪器的行业标准解决方案。
STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动最为敏感的仪器。
TMC主动隔振平台STACIS III的优势
STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软"悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在最佳状态下运行。
*特的串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*越主动隔振性能。
主动隔振光学平台系统STACIS III特征
●最新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面
●隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率
●频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％
●降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行
●有效隔振范围，0.6Hz到150Hz
●获得众多用户的广泛认可和肯定
●6向自由度硬安装设计，无需空气悬架
●强大的控制系统无需定期重新校准
●point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容
●随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形
●TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
●数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）
●提高客户产品产量、质量、成品率。
●符合RoHS标准
●最宽的主动隔振带宽，*美的低频隔振效果
●亚赫兹的主动震动消除，最主要在0.6-6Hz频段内的隔振
●可堆叠式设计
●主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
●被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
●由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
●负载可达2000kg
●市场上*美的主动隔振系统
性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷
性能规格
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1） | 0.3秒 |
内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） | |
高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） | |
刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
从距离隔振器最大4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | 最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号， 其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源） |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动， 并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
隔振器尺寸（宽x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm |
隔振器重量 | 75磅（34千克） |
工作温度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
储存温度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
湿度 | 30 - 60% |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC；<600 W 符合CE标准 |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
DC-2020控制器规格
尺寸（宽 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个以太网RJ-45 1个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器 |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
STACIS用户及应用领域
1、微电子、半导体
●晶片检测
●显微光刻技术
●掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
●SEM、TEM
●STEM、SPM
3、激光台
●生命科学、药物研发
4、工业应用
●精密加工
为什么要选择主动系统？
●从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
●提高质量、生产量
●更加细小特色的成像能力
●前沿研究
●比气动平台更稳定
●满足SEM标准地点安装参数的*一解决方案
●使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择STACIS
●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*美的无震环境。
●市场上*美强劲的低频隔振系统。
●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
●STACIS*次发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应，由于*特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是*与伦比的
●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
●完善的环境调查服务
●开具专业环境报告
●提供震动、磁场、声波检测及解决方案
●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
●40多年的行业经验，业内的*导者
应用照片
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