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TMC主动消振平台系统Stage-Base继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。
更新时间:2024-05-21
厂商性质:生产厂家
TMC气浮综合性主动隔振系统,LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。
更新时间:2024-05-21
厂商性质:生产厂家
赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台,SEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装,提供*越的性能,并且符合人体工程学优化。
更新时间:2024-05-21
厂商性质:生产厂家
TMC地面式主动隔振光学平台,对于传统的实验室地面,隔离高大工具的建筑地面振动是一个人体工程学领域的挑战。将隔振器直接放置在工具下方可能会将工具抬高到一个不切实际的高度。此外,传统空气隔振器放置在一个较高、上重下轻的有效载荷之下时不稳定。
更新时间:2024-05-21
厂商性质:生产厂家
TMC地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起,以满足复杂的设施要求(管道、电缆、燃气管道等)和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。
更新时间:2024-05-11
厂商性质:生产厂家