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TMC主动空气隔振调平系统,PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密电子定位系统)基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,还有一个改进的用户界面。
更新时间:2024-05-22
厂商性质:生产厂家
TMC主动空气消振器,Electro-Damp®是第一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。Electro-Damp II是对原始系统的*全重新设计,增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用(如显微光刻、检测和计量工具)的数字用户界面。
更新时间:2024-05-23
TMC空气隔振器,TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的*选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择,适合各种应用。
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